半導(dǎo)體超純水制備工藝復(fù)雜、難度高

超純水指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。近年來(lái)，隨著國(guó)家對(duì)環(huán)保的重視以及半導(dǎo)體行業(yè)的迫切發(fā)展，超純水這個(gè)概念逐漸被公眾所熟知。與普通凈水器用于凈化生活用水不同，超純水一般用于科學(xué)研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領(lǐng)域。超純水在半導(dǎo)體、核電、燃煤發(fā)電、制藥等行業(yè)有著極為重要的作用，特別是在半導(dǎo)體和核電領(lǐng)域的巨大應(yīng)用潛力逐漸浮現(xiàn)。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)超純水要求標(biāo)準(zhǔn)較高

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，超純水被用于晶圓沖洗、化學(xué)品稀釋、化學(xué)機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等許多場(chǎng)合，超純水的品質(zhì)與半導(dǎo)體的良品率直接相關(guān)。隨著半導(dǎo)體元器件尺寸縮小與精細(xì)度上升，超純水水質(zhì)的技術(shù)要求不斷提升，在超純水的生產(chǎn)過(guò)程中，只要微粒子、電阻率、TOC以及氣泡中一個(gè)指標(biāo)出現(xiàn)略微差異，就會(huì)使半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)的合格率下降。半導(dǎo)體超純水水質(zhì)的參考標(biāo)準(zhǔn)目前由幾個(gè)國(guó)際組織和團(tuán)體開(kāi)發(fā)和頒布：國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備及材料協(xié)、國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)線路圖、美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)。

超純水制備工藝復(fù)雜、難度高

超純水一般用于科學(xué)研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領(lǐng)域。前者是通過(guò)PP棉、顆粒活性炭、精密壓縮活性炭、反滲透膜/超濾膜、后置活性炭這五級(jí)濾芯的過(guò)濾，濾除細(xì)菌、病毒、重金屬離子等有害物質(zhì)，制得達(dá)到生飲標(biāo)準(zhǔn)的飲用水，屬于分子級(jí)過(guò)濾。后者則是一般工藝很難達(dá)到的程度，需要將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)、離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，在各級(jí)濾芯、控制元件、增壓泵、紫外燈等的共同作用下，制得符合實(shí)驗(yàn)要求的超純水，屬于離子級(jí)過(guò)濾，有些超純水機(jī)還有軟水器、微濾膜、UV紫外消解儀等可供選配。