劉遠知
工程師
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當前位置：蘇州奕泰環境科技有限公司>>潔凈檢測儀器設備>>塵埃粒子計數器>> ET-R101FS在線0.1μm塵埃粒子計數器
| 產地 | 國產 | 產品新舊 | 全新 |
|---|---|---|---|
| 結構形式 | 在線分析 | 流量范圍 | 小流量 |
| 自動化程度 | 全自動 |
一、概述：
ET-R101FS型激光塵埃粒子計數器,是蘇州奕泰環境科技有限公司在線監測系統的產品之一。檢測最小粒徑檔可達0.1μm,可檢測ISO7-ISO1的潔凈環境,采樣流量2.83L/min,專為半導體行業高精度潔凈環境檢測設計,突破傳統精度局限，精準捕捉光刻膠揮發,設備磨損產生的亞微米污染顆粒,滿足納米制程對ISO1級潔凈度的嚴苛要求。儀器具有檢測精度高,人機界面友好,功能豐富,操作簡單。
本產品可廣泛應用于半導體、電子、光學、新能源、精密機械，化學、醫藥衛生、生物制品、航空航天，等部門。
二、特點：
◆304不銹鋼殼體（可定制航空鋁材）
◆5.0超大高清彩色觸控屏，操作簡單
◆最小檢測粒徑0.1μm，八通道
◆約500萬條數據存儲+USB數據導出+云端互聯
◆支持SCADA/MES系統對接
◆ESD安全智能電源管理系統
◆ISO 14644-1潔凈度等級報告自動生成
◆主動流量控制PID自動調節
◆防爆需求定制，防爆僅針對于外殼防爆，具體根據客戶需求進行一對一定制。
三、性能：
◆采樣流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒徑分布誤差；國優±20%FS
◆示值濃度誤差；國優±20%FS
◆自凈時間；國優≤8min
◆重復性相對誤差；國優≤8%FS
◆采樣濃度，35000顆/升
◆至少5，000，000條采樣數據存儲
四、應用：
半導體潔凈廠房檢測；
晶圓封裝產品線監測；
光刻產線監測；
精密光學；
新能源；
航空航天；
五、技術參數：
采樣流量 | 2.83L/min |
粒子粒徑分檔 | 八通道：0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.5μm, 1.0μm, 5.0μm |
激光光源 | 長壽命的激光二極管，壽命＞35,000小時 |
采樣濃度 | 1000,000個/立方英尺 |
采樣模式 | 連續采樣+實時計數、間隔采樣、累計計數 |
計數效率 | 50%@0.1μm；100%@＞0.15μm符合ISO21501-4 |
采樣延時 | 用戶自設定 |
采樣間隔 | 用戶自設定 |
通訊協議 | Modbus |
通訊方式 | RS485、Internet |
數據內存容量 | 約500萬組測量數據，可查詢，導出 |
屏幕顯示 | 5.0彩色高清觸摸屏 |
打印方式 | 在線款不支持 |
電 源 | DC12V（9-28VDC）輸出功率不低于12V3A |
參考標準 | ISO 21501-4、GBT29024.4-2017、JJF1190-2008 |
數據通訊接口 | USB（直接導出或IOT在線監測系統查看），RS485、RJ45 |
環 境 | 使用環境：10∽40℃ 相對濕度 20∽95%RH |
儲存環境：-20℃∽45℃ 相對濕度0∽95%RH | |
大氣壓力：86—106kPa | |
標準配件 | 等動力采樣頭，采樣頭軟管，自凈過濾器，使用說明書，原廠校準報告，合格證等 |
外形尺寸 | 寬220mm×高162mm×深130mm（不含采樣口、報警燈） |
材 質 | 304不銹鋼 |
重 量 | 2.8Kg |
六、etiedt奕泰凈科：
蘇州奕泰環境科技有限公司國產潔凈環境檢測儀器智能化創新應用專業前沿企業；
進口儀器國產化替代品牌新勢力；
國內凈化品牌服務商，凈化優質服務商；
潔凈微環境智能監測儀器全套解決方案專業企業
半導體潔凈環境檢測，奕泰凈科E系列激光塵埃粒子計數器檢測等級可滿足十級至三十萬級環境檢測；
在線0.1μm塵埃粒子計數器在線監測系統；
在線0.1μm塵埃粒子計數器遠程環境在線監測系統
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