臺式掃描電子顯微鏡

臺式掃描電子顯微鏡

臺式掃描電鏡(臺式SEM)簡介：
臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美國FEI公司(1997年原FEI和飛利浦電子光學合并而成)提出的，并與2006年正式發布了旗下的Phenom臺式掃描電鏡，并于2009年成立Phenom-World公司，專業研發并生產臺式掃描電鏡。相較于傳統大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜，放大倍數在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測量不導電樣品等優勢。此類新型儀器的出現光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
臺式掃描電鏡(臺式SEM)組成：
真空系統:一般采用機械泵與分子泵聯動
電子槍:一般為LaB6(六硼化鑭)、CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，LaB6、CeB6燈絲壽命超過1000小時，且亮度更高。目前尚沒有采用場發射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器:背散射電子或二次電子探測器